2.5D / 3D 패키징 기술 진화
TSMC의 CoWoS-S 에서 CoWoS-L/CoWoS-R 로 진화.
> Hybrid bonding / CMP / 화학 및 기계적 연마 같은 기술들 필요로 할 것<CMP-케이씨텍, 하이브리드본딩-BESI, 한미반도체, 한화인더스트리얼솔루션즈, 미코(부품, 펄스히터)>
> 검사 / 계측 정밀 기술 요구
> 실리콘 포토닉스<브로드컴, 코히런트> (SoIC라는 3D 패키징 기술에다가 COUPE라는 실리콘 포트닉스 기술을 하기로 하면서 2027년 예정이던 게 앞당겨지는 그림) ~> CPO라는 새로운 콘셉트의 패키징 기술의 고도화 이끌어 냄.
> 글래스 코어 기판<삼성전기, SKC(앱솔릭스), 필옵틱스(SKC향), HB테크놀로지(삼성전기향)>
>2nm GAA<솔브레인(초산계 에천트), 파크시스템스(원자 현미경)>
이는 AI 가속기, AI 데이터센터 등의 수요 늘어남. 생성형 AI의 수익화가 가능해지며 비싼 기술들을 더 활용할 수 있게 됨.
TSMC 패키징기술 InFO(2D) vs CoWoS(2.5D) vs SoIC(3D)
InFO(2D)
InFO(Integrated Fan-Out)는 Substrate를 사용하지 않고 웨이퍼 위에 RDL(Re Distribution Layer)을 형성해 패키징 하는 기술로 Advanced packaging 중 가장 먼저 도입
CoWoS-S & CoWoS-L & CoWoS-R
CoWoS(Chip on Wafer on Substrate)는 말 그대로 실리콘 인터포저 위에 칩을 연결한 후 Substrate에 연결하는 방식으로 현재 AI 반도체 생산에 가장 보편적으로 이용되는 패키징 기술. Nvidia의 H100, H200, AMD의 MI300은 모두 CoWoS-S를 채택했으며 Nvidia는 Blackwell 플랫폼부터는 CoWoS-L을 채택할 전망.
SoIC
SoIC(System on Integrated Chips)는 마이크로 범프 없이 칩을 3D 구조로 적층하는 패키징 기술이다. 하이브리드 본딩 방식으로 마이크로 범프 없이 구리패드를 접촉시켜 연결하기 때 문에 고밀도로 패키징 할 수 있고 신호 전달 경로가 짧아져 기존 패키징 방식 대비 속도와 전력 효율이 우수하다는 특징. AI 확산으로 데이터 처리량이 증가하며 칩 성능을 향 상시키기 위해 다수의 팹리스 기업들이 AI 칩 내 SoIC 기술 적용을 검토중.
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