기업개요 반도체 및 디스플레이 제조에 필요한 펠리클, 칠러 개발 및 제조업체로 1987년 설립되어 1988년 Pellicle 국내 생산에 성공했으며 이후 Thermo-electric Chiller, KrF/ ArFPellicle 개발 성과를 바탕으로 2000년 1월 코스닥 시장에 상장.반도체 및 디스플레이 공정 중 포토마스크 보호막인 펠리클(Pellicle) 및 반도체 제조장비의 온도를 조절하는 칠러(Chiller)장비 제조업을 영위, 경기도 오산시에 펠리클 제조설비, 경기도 화성시에 칠러장비 제조설비를 두고 있음. 매출비중은 3Q24기준, 펠리클(재료) 835억(52.31%)* 반도체 펠리클: 반도체 제조시 노광(Photolithography) 공정에서 포토마스크 (Photomask)를 이물질로부..
